不知不觉间，mob已经在盐中的肉体改造部待了一年了，体魄强健的他很快又发现了新的爱好——“麻将”！虽然mob是地球上超能力最为强大的少年，但当他与Saki，Teru等天才麻将少女对战时，他却由于执念从不使用超能力！但由于他无法像对手一样看破牌山，因此评估自己的配牌，决定本局究竟是进攻还是防守成了一件
非常重要的事情。mob很快找到了一种方法去量化自己的起手配牌价值，以下是他自己总结出的经验公式：
一套麻将有张牌，第张牌的点数为,这张牌的任何一个子集都是一种可能的“配牌”，mob会用以下方式决定拿到某种配牌时应该进攻还是防守：
设一种配牌所含有的牌的点数分别为(这是一种含张牌的配牌)，设数列中某个子序列的价值为组成这个子序列的点数和，设一种配牌的价值为相应数列的所有非空子序列的价值的和。
如：配牌，它的所有非空子序列有，其价值分别为，因此这个配牌的价值为
若一种配牌的价值是的倍数，那么称这个配牌为好的配牌。
问：一套麻将中有多少个子集是“好的配牌”
由于答案可能非常大，你只需要输出答案对10^9+7取模的结果